S rýchlym rozvojom polovodičového priemyslu sa jeho rozsah rýchlo zvýšil a zariadenia na výrobu polovodičov sa neustále vyvíjali v oblasti presnosti a komplexnosti. Vďaka výhodám vysokej tvrdosti, vysokého modulu pružnosti, vysokej odolnosti proti opotrebovaniu, vysokej izolácie, odolnosti proti korózii, nízkej rozťažnosti atď. sa keramika môže použiť ako súčasť leštičiek kremíka, epitaxných/oxidačných/difúznych tepelných spracovaní, litografických strojov, depozičných zariadení, leptacích zariadení polovodičov, iónových implantačných strojov a iných zariadení. Výskum, vývoj a výroba presných keramických súčiastok teda priamo ovplyvňujú rozvoj polovodičového priemyslu. Technické požiadavky na ich prípravu sa neustále zvyšujú.
Vysoko čistý oxid hlinitý, 99,7 % – 99,9 % oxid hlinitý.
Vysoká mechanická pevnosť, vysoká odolnosť proti opotrebovaniu, vysoká elektrická izolácia, vysoká chemická stabilita, dobrá tepelná odolnosť a odolnosť proti korózii. V súčasnosti je použitie keramických brúsnych kotúčov na brúsenie polovodičových kremíkových doštičiek najmodernejšou metódou brúsenia. Na brúsenie narezaných kremíkových doštičiek sa používa proces obojstranného brúsenia a kvalita brúsnych doštičiek sa zlepšuje zlepšením procesu brúsenia (materiál kotúčov, brúsna kvapalina, tlak brúsenia a rýchlosť brúsenia atď.). Najmä použitie keramických dosiek namiesto liatinových dosiek zabraňuje brúseniu hlavného povrchu doštičky spôsobenému jazvami alebo znečistením, znižuje zavádzanie kovových iónov, môže skrátiť následné spracovanie kremíka, skrátiť čas následného procesu (korózie), zlepšiť efektivitu výroby a znížiť straty kremíka pri spracovaní, čo výrazne zlepšuje využitie kremíka.
Leštiaca doska s vysokým obsahom oxidu hlinitéhoPoužíva sa v polovodičovom, ropnom, chemickom, fotovoltaickom, tekutokryštálovom a inom priemysle, ako sú mechanické súčiastky, elektronické súčiastky, mikrovlnné indukčné disky, izolačné materiály a iné súčiastky, polovodičové súčiastky, vákuové zariadenia, zariadenia na výrobu tekutých kryštálov a iné súčiastky. Veľkoformátová a vysoko čistá aluminová keramika má dôležitú aplikačnú hodnotu v zafírovom priemysle a priemysle polovodičových čipov. Je kľúčovým nosičom a spotrebným materiálom pre chemicko-mechanické leštenie (CMP) zafírových a polovodičových kremíkových doštičiek. Veľkoformátová a vysoko čistá aluminová keramika sa môže použiť aj ako aluminový substrát pre LCD.
Čas uverejnenia: 27. júna 2024