nieiye1

Leštiaca doska z keramických dosiek s obsahom 99,7 % oxidu hlinitého pre CMP

Chemshunleštiaca doska z oxidu hlinitého/Otočný stôl je vyrobený z vysoko čistého oxidu hlinitého s obsahom 99,7 – 99,9 %. Vysoko čistá keramika z oxidu hlinitého sa vyznačuje vynikajúcou tuhosťou a vynikajúcou odolnosťou proti opotrebovaniu pri leštení doštičiek a dlhodobo si zachováva dobrý tvar povrchu. Je tvarovaný metódou PIBM. Je členom polovodičového priemyslu vďaka svojej bezkonkurenčnej tepelnej a rozmerovej stabilite a odolnosti voči náročným podmienkam zariadení na spracovanie mikročipov.

Chemicko-mechanická planarizácia (CMP), známa aj ako chemicko-mechanické leštenie, je technológia vo výrobnom procese polovodičových súčiastok. Využíva chemickú koróziu a mechanické sily na sploštenie kremíkových doštičiek alebo iných substrátových materiálov počas spracovania.

Zariadenie CMP sa delí hlavne na dve časti: leštiacu časť a čistiacu časť. Leštiaca časť pozostáva zo 4 častí, a to 3 leštiacich otočných stolov a modulu na vkladanie a vykladanie doštičiek. Čistiaca časť je zodpovedná za čistenie a sušenie doštičky, aby sa dosiahlo jej „vkladanie a vysychanie“. V celom leštiacom zariadení hrá dôležitú úlohu aluminová keramika.

Hliníková keramika sa zvyčajne používa na výrobu leštiacich kotúčov na doštičky, ktoré vyžadujú vysokú čistotu, vysokú chemickú odolnosť a dobrú kontrolu tvaru a drsnosti povrchu.

Keramický brúsny kotúč Chemshun 99,7% Al2O3 je vyrobený z moderných keramických materiálov, ktoré sú vhodné na jemné brúsenie rôznych materiálov, najmä na brúsenie krehkých materiálov, ako sú doštičky, keramika a sklo. Náš keramický brúsny kotúč je možné vyrobiť v rôznych veľkostiach podľa rôznych modelov brúsenia a leštenia.

Leštiaca doska z keramických dosiek s obsahom 99,7 % oxidu hlinitého


Čas uverejnenia: 30. mája 2025